Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN
Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications

J 2017

Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications

FALUB, Claudiu Valentin; Rachid HIDA; Mojmír MEDUŇA; Josef ZWECK; Jean-Philippe MICHEL et al.

Základní údaje

Originální název

Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications

Název česky

Strukturní a feromagnetické vlastnosti naprašovaných měkkých magnetických multivrstev FeCoB/AlN pro GHz aplikace

Autoři

FALUB, Claudiu Valentin; Rachid HIDA; Mojmír MEDUŇA; Josef ZWECK; Jean-Philippe MICHEL; Henri SIBUET; Daniel SCHNEIDER; Martin BLESS; Jan H. RICHTER a Hartmut ROHRMANN

Vydání

IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, PISCATAWAY, IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 2017, 0018-9464

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 1.467

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00099306

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

FeCoB; permeabilita vysoké high-frekvence; magnetické multivrstvy; magnetronové naprašování; měkké magnetické materiály

Klíčová slova anglicky

FeCoB; high-frequency permeability; magnetic multilayers; magnetron sputtering; soft magnetic materials

Štítky

NZ, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 2. 3. 2020 16:02, Mgr. Marie Novosadová Šípková, DiS.

Anotace

ORIG CZ

V originále

In this paper, we studied the structural and magnetic properties of amorphous FeCoB/AlN multilayered thin films with in-plane uniaxial magnetic anisotropy based on the Fe-28% Co-20% B (at. %) alloy, deposited on 8 '' Si/200 nm-thermal-SiO2 wafers in an industrial, high-throughput magnetron sputtering system.

Česky

V tomto článku jsme studovali strukturní a magnetické vlastnosti amorfních tenkovrstvých vrstev FeCoB/AlN s rovinnou jednoosovou magnetickou anizotropií založenou na slitině Fe-28% Co-20% B, vypěstované na 8" Si/200 nm-termo-SiO2 deskách v průmyslovém, vysoce výkonném magnetronovém rozprašovacím systému.

Návaznosti

ED1.1.00/02.0068, projekt VaV

Název: CEITEC - central european institute of technology

LM2011020, projekt VaV

Název: CEITEC ? open access

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, CEITEC - open access

LQ1601, projekt VaV

Název: CEITEC 2020 (Akronym: CEITEC2020)

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, CEITEC 2020

Citovat

FALUB, Claudiu Valentin; Rachid HIDA; Mojmír MEDUŇA; Josef ZWECK; Jean-Philippe MICHEL; Henri SIBUET; Daniel SCHNEIDER; Martin BLESS; Jan H. RICHTER a Hartmut ROHRMANN. Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications. IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS. PISCATAWAY: IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 2017, roč. 53, č. 11, s. 2002906-2002911. ISSN 0018-9464. Dostupné z: https://doi.org/10.1109/TMAG.2017.2703175.

@article{1403090,
   author = {Falub, Claudiu Valentin and Hida, Rachid and Meduňa, Mojmír and Zweck, Josef and Michel, JeanandPhilippe and Sibuet, Henri and Schneider, Daniel and Bless, Martin and Richter, Jan H. and Rohrmann, Hartmut},
   article_location = {PISCATAWAY},
   article_number = {11},
   doi = {https://doi.org/10.1109/TMAG.2017.2703175},
   keywords = {FeCoB; high-frequency permeability; magnetic multilayers; magnetron sputtering; soft magnetic materials},
   language = {eng},
   issn = {0018-9464},
   journal = {IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS},
   title = {Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications},
   url = {http://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/7924320/},
   volume = {53},
   year = {2017}
}

TY  - JOUR
ID  - 1403090
AU  - Falub, Claudiu Valentin - Hida, Rachid - Meduňa, Mojmír - Zweck, Josef - Michel, Jean-Philippe - Sibuet, Henri - Schneider, Daniel - Bless, Martin - Richter, Jan H. - Rohrmann, Hartmut
PY  - 2017
TI  - Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications
JF  - IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS
VL  - 53
IS  - 11
SP  - 2002906
EP  - 2002906
PB  - IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
SN  - 00189464
KW  - FeCoB
KW  - high-frequency permeability
KW  - magnetic multilayers
KW  - magnetron sputtering
KW  - soft magnetic materials
UR  - http://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/7924320/
L2  - http://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/7924320/
N2  - In this paper, we studied the structural and magnetic properties of amorphous FeCoB/AlN multilayered thin films with in-plane uniaxial magnetic anisotropy based on the Fe-28% Co-20% B (at. %) alloy, deposited on 8 '' Si/200 nm-thermal-SiO2 wafers in an industrial, high-throughput magnetron sputtering system.
ER  -

FALUB, Claudiu Valentin; Rachid HIDA; Mojmír MEDUŇA; Josef ZWECK; Jean-Philippe MICHEL; Henri SIBUET; Daniel SCHNEIDER; Martin BLESS; Jan H. RICHTER a Hartmut ROHRMANN. Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications. \textit{IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS}. PISCATAWAY: IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 2017, roč.~53, č.~11, s.~2002906-2002911. ISSN~0018-9464. Dostupné z: https://doi.org/10.1109/TMAG.2017.2703175.

Přehled o publikaci