2020
Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS
BERNÁTOVÁ, Katarína; Matej FEKETE; Peter KLEIN; Jaroslav HNILICA; Petr VAŠINA et al.Základní údaje
Originální název
Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS
Název česky
Vplyv prietoku dusíka na hustotu rozprášených častíc v reaktívnom HiPIMS
Autoři
Vydání
Workshop on Plasma-Based Synthesis of Nanomaterials, 2020
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ne
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
reaktivní HiPIMS; hustota částic; titan; ionizační stupeň
Klíčová slova anglicky
reactive HiPIMS; density; titanium; ionized density fraction
Změněno: 29. 4. 2021 18:58, Mgr. Marie Novosadová Šípková, DiS.
V originále
Adding a reactive gas into the HiPIMS process opens up a new alley of producing novel materials with a wide range of different compositions. The temporal evolution of the absolute number of the sputtered titanium atoms and ions, the ionized density fraction in the target region and the ion flux in the substrate region in reactive HiPIMS process for different partial pressures of the reactive gas are presented in this contribution.
Česky
Pridaním reaktívneho plynu do HiPIMS procesu vznikajú nové možnosti deponovať nové typy materiálov s rôznym zložením. V tomto príspevku bola skúmaná časová závislosť hustoty rozprášených titánových atómov, iónov a ionizačného stupňa titánu v oblasti blízko povrchu terča a taktiež toku iónov na substrát v reaktívnom HiPIMS výboji.
Návaznosti
| GA19-00579S, projekt VaV |
| ||
| LM2018097, projekt VaV |
|