1999
Structural characterization of a lamellar W/Si multilayer grating
JERGEL, M., Petr MIKULÍK, E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK et. al.Základní údaje
Originální název
Structural characterization of a lamellar W/Si multilayer grating
Název česky
Strukturní charakterizace planárních W/Si vrstevnatých mřížek
Autoři
JERGEL, M., Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant), E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK, E. PINČÍK, M. BRUNEL, P. HUDEK, I. KOSTIČ a A. KONEČNÍKOVÁ
Vydání
J. Appl. Phys. USA, American Institute of Physics, 1999, 0021-8979
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 2.275
Kód RIV
RIV/00216224:14310/99:00000992
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000077792600086
Klíčová slova anglicky
x-ray reflectivity; gratings; multilayers
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 10. 7. 2009 15:28, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
V originále
A lamellar multilayer grating of the nominal normal and lateral periods 8 nm and 800 nm, respectively, was obtained by etching a planar amorphous W/Si multilayer up to the substrate. The specular reflectivity, grating truncation rods of non-zero orders, and a reciprocal space map of the scattered intensity close to the total external reflection were measured using the CuKa radiation. For the first time, we demonstrate an extraction of real structural parameters of a fully etched periodic multilayer grating from fitting the measured truncation rods based on the matrix modal eigenvalue approach to the dynamical theory of reflectivity by gratings.
Česky
A lamellar multilayer grating of the nominal normal and lateral periods 8 nm and 800 nm, respectively, was obtained by etching a planar amorphous W/Si multilayer up to the substrate. The specular reflectivity, grating truncation rods of non-zero orders, and a reciprocal space map of the scattered intensity close to the total external reflection were measured using the CuKa radiation. For the first time, we demonstrate an extraction of real structural parameters of a fully etched periodic multilayer grating from fitting the measured truncation rods based on the matrix modal eigenvalue approach to the dynamical theory of reflectivity by gratings.
Návaznosti
| MSM 143100002, záměr |
|