J 2000

Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry

FRANTA, Daniel a Ivan OHLÍDAL

Základní údaje

Originální název

Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry

Autoři

Vydání

Surface and Interface Analysis, USA, John Wiley & Sons, 2000, 0142-2421

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 1.215

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/00:00002371

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

Klíčová slova anglicky

Inhomogeneous ZrO2-films; Optical characterization; Spectroscopic ellipsometry; Spectroscopic reflectometry

Štítky

Změněno: 22. 12. 2003 00:49, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

V originále

In this paper results concerning the optical characterization of the inhomogeneous thin films of ZrO2 are presented. The optical characterization of these films is performed using the simultaneous interpretation of experimental data corresponding to variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). It is shown that the ZrO2-films exhibit a depth inhomogeneity concerning their refractive indices. Further, it is shown that the ZrO2-films studied can be replaced by the four-layer system from the point of view of satisfactory fits of the experimental data. The values of the thicknesses and spectral dependences of the refractive indices of these four films are determined. Moreover, it is proved that the individual methods, i.e. VASE and especially NNSR, can not be separately used to characterize the ZrO2-films investigated.

Návaznosti

GA101/98/0772, projekt VaV
Název: Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
GA202/98/0988, projekt VaV
Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
GV106/96/K245, projekt VaV
Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
VS96084, projekt VaV
Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze