Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge

ELIÁŠ, Marek; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Jan JANČA a Michal LORENC. Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge. Diamond and Related Materials. New York: Elsevier Science S.A., 2000, roč. 9, č. 7, s. 552-555. ISSN 0925-9635.

Základní údaje

Originální název

Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge

Autoři

ELIÁŠ, Marek (203 Česká republika, garant); Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika); Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika); Jan JANČA (203 Česká republika) a Michal LORENC (203 Česká republika)

Vydání

Diamond and Related Materials, New York, Elsevier Science S.A. 2000, 0925-9635

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.591

Kód RIV

RIV/00216224:14310/00:00002461

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

Carbon; Ellipsometry; Nitrides; Mechanical properties

Štítky

Carbon, ellipsometry, mechanical properties, Nitrides

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

---

Anotace

V originále

Nanocomposite CNx/SiO thin films

---

Návaznosti

GV106/96/K245, projekt VaV	Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
ME 301, projekt VaV	Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
ME 367, projekt VaV	Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV	Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
VS96084, projekt VaV	Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze