D 2002

Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

SLÁDEK, Petr a Pavel SŤAHEL

Základní údaje

Originální název

Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

Autoři

Vydání

1. vyd. Bratislava, Conference Proceedings of Inter-Academia 2002, s. 237-243, 2002

Nakladatel

Comenius University and Union of Slovak Mathematicians and Physicists, Bratislava

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14410/02:00007014

Organizační jednotka

Pedagogická fakulta

ISBN

80-968253-6-4

Klíčová slova anglicky

plasma deposition;surface energy; atmospheric discharge

Štítky

Příznaky

Recenzováno
Změněno: 18. 1. 2007 10:41, doc. RNDr. Petr Sládek, CSc.

Anotace

V originále

Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV
Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů