KLAPETEK, Petr a Ivan OHLÍDAL. Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films. Ultramicroscopy. Amsterdam: Elsevier, roč. 94, č. 1, s. 19-29. ISSN 0304-3991. 2003.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films
Autoři KLAPETEK, Petr (203 Česká republika) a Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, garant).
Vydání Ultramicroscopy, Amsterdam, Elsevier, 2003, 0304-3991.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Nizozemské království
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 1.665
Kód RIV RIV/00216224:14310/03:00007965
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000179626500002
Klíčová slova anglicky columnar films; atomic force microscopy
Štítky atomic force microscopy, columnar films
Změnil Změnil: Mgr. Petr Klapetek, Ph.D., učo 11111. Změněno: 30. 9. 2003 08:53.
Anotace
In this paper a theoretical analysis of atomic force microscopy measurements of columnar thin films is presented. Errors originating from tip convoution effects are evaluated.
Návaznosti
GA101/01/1104, projekt VaVNázev: Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie
Investor: Grantová agentura ČR, Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie
GA202/01/1110, projekt VaVNázev: Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
Investor: Grantová agentura ČR, Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
VytisknoutZobrazeno: 19. 4. 2024 18:02