J 2003

Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films

KLAPETEK, Petr a Ivan OHLÍDAL

Základní údaje

Originální název

Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films

Autoři

KLAPETEK, Petr a Ivan OHLÍDAL

Vydání

Ultramicroscopy, Amsterdam, Elsevier, 2003, 0304-3991

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.665

Kód RIV

RIV/00216224:14310/03:00007965

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000179626500002

Klíčová slova anglicky

columnar films; atomic force microscopy

Štítky

Změněno: 30. 9. 2003 08:53, Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.

Anotace

V originále

In this paper a theoretical analysis of atomic force microscopy measurements of columnar thin films is presented. Errors originating from tip convoution effects are evaluated.

Návaznosti

GA101/01/1104, projekt VaV
Název: Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie
Investor: Grantová agentura ČR, Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie
GA202/01/1110, projekt VaV
Název: Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
Investor: Grantová agentura ČR, Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou