Plasma potential in low-pressure capacitive r.f. discharges

DVOŘÁK, Pavel, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA. Plasma potential in low-pressure capacitive r.f. discharges. In WDS'03 Proceedings of contributed papers, part 2. Praha: Matfyzpress, 2003, s. 472-476. ISBN 80-86732-18-5.

Základní údaje

• Originální název: Plasma potential in low-pressure capacitive r.f. discharges
• Autoři: DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika).
• Vydání: Praha, WDS'03 Proceedings of contributed papers, part 2, od s. 472-476, 5 s. 2003.
• Nakladatel: Matfyzpress

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14330/03:00009330
• Organizační jednotka: Fakulta informatiky
• ISBN: 80-86732-18-5
• Klíčová slova anglicky: plasma potential; hydrogen; Langmuir probe
• Štítky: Hydrogen, Langmuir probe, plasma potential

Anotace

We observed two different discharge modes in hydrogen. The modes differed significantly in a visual appearance, plasma potential and in the shape of electron energy distribution function. In order to explain it we established a simple model anabling an aproximate calculation of the plasma potential. This model is not capable to predict real values of the plasma potential but it can qualitatively explain the observed effect.

Návaznosti

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek