Plasma potential in low-pressure capacitive r.f. discharges

DVOŘÁK, Pavel; Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA. Plasma potential in low-pressure capacitive r.f. discharges. In WDS'03 Proceedings of contributed papers, part 2. Praha: Matfyzpress, 2003, s. 472-476. ISBN 80-86732-18-5.

Základní údaje

Originální název

Plasma potential in low-pressure capacitive r.f. discharges

Autoři

DVOŘÁK, Pavel; Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA

Vydání

Praha, WDS'03 Proceedings of contributed papers, part 2, od s. 472-476, 5 s. 2003

Nakladatel

Matfyzpress

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14330/03:00009330

Organizační jednotka

Fakulta informatiky

ISBN

80-86732-18-5

Klíčová slova anglicky

plasma potential; hydrogen; Langmuir probe

Štítky

Hydrogen, Langmuir probe, plasma potential

---

Anotace

V originále

We observed two different discharge modes in hydrogen. The modes differed significantly in a visual appearance, plasma potential and in the shape of electron energy distribution function. In order to explain it we established a simple model anabling an aproximate calculation of the plasma potential. This model is not capable to predict real values of the plasma potential but it can qualitatively explain the observed effect.

---

Návaznosti

MSM 143100003, záměr

Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek