D 2003

Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor

BUBLAN, Martin, Petr VAŠINA, Ludovic DE POUCQUES, Caroline BOISSE-LAPORTE, Jean-Christophe IMBERT et. al.

Základní údaje

Originální název

Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor

Název česky

Prostorově rozložení částic v IPVD reactorem

Autoři

BUBLAN, Martin (203 Česká republika), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant), Ludovic DE POUCQUES (250 Francie), Caroline BOISSE-LAPORTE (250 Francie), Jean-Christophe IMBERT (250 Francie) a Michel TOUZEAU (250 Francie)

Vydání

Praha, WDS 03 Proceeding of Contributed Papers, od s. 326-329, 4 s. 2003

Nakladatel

MARFYZPRESS, vydavatelství Matematicko-fyzikální fakulty University Karlovy v Praze

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/03:00025490

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-86732-18-5

Klíčová slova anglicky

optical emission spectroscopy; optical absorption spectroscopy; IPVD; magnetron

Štítky

Změněno: 23. 6. 2009 10:02, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Results of emission and absorption spectroscopy carried out in the IPVD reactor, consisting of magnetron sputtering device assisted by two antennas of microwave system are presented in this study. The results of the SEM analysis of deposited films are presented too.

Česky

Výsledky optické emisní a absorpční spektroskopie z reaktoru obsahujícího magnetron a dvě mikrovlnné antény jsou diskutovány společně s výsledky vrstev z rastrovacího elektronového mikroskopu.

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek