2004
Ion and Probe Measurements in rf Capacitive Discharges in Argon and Nitrogen
ŠMÍD, Radek, Jan JANČA a Lenka ZAJÍČKOVÁZákladní údaje
Originální název
Ion and Probe Measurements in rf Capacitive Discharges in Argon and Nitrogen
Název česky
Měření iontů a sondové měření v kapacitně vázaných výbojích v argonu a dusíku
Autoři
ŠMÍD, Radek (203 Česká republika, garant), Jan JANČA (203 Česká republika) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika)
Vydání
Praha, WDS'04 Proceedings of Contributed papers, Part II, od s. 333-338, 6 s. 2004
Nakladatel
MATFYZPRESS
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/04:00010679
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
80-86732-32-0
Klíčová slova anglicky
Langmuir probe; Ion energy distribution; concentration profiles
Příznaky
Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 16:59, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
V originále
We used Langmuir probe and Balzers PPM to determine electron concentration, energy of ions and plasma potential in Ar and N2 discharge. Both diagnostic devices were oriented parallel. The movable electrodes allow a perpendicular spatially resolved measurements. The ion energy distribution (IED) measured at the high power is the same as at the grounded electrode. It exhibited only one peak which was typically found for low voltage modulated r.f. sheaths (the case of grounded electrode). The mean energy of Ar+ and N2+ ions was about 92~\% of the energy related to the plasma potential. Moreover, low energy electron tail appeared in their IEDs. These both facts are explained by collisions in the sheath. Not observed effect of collisions in N+ ions IEDs. The ion mean energies decreased towards the grounded electrodes in agreement with the plasma potential. The ion and electron concentrations showed similar profiles (maximum about 12~mm above the grounded electrode).
Česky
K získání koncentrace elektronů, energie elektronů a plazmového potenciálu, v argonu a dusíku, byla použita Langmuirova sonda a PPM Balzers. Oba diagnostické přístroje byly umístěny paraleně s rovinou elektrod. Pohyblivé elektrody umožňují získat prostorové rozložení parametrů mezi elektrodami. Rozdělovací funkce energie iontu je za vysokých výkonu stejná jako pro zemněnou elektrodu. Projevuje se zde jeden intenzivní pík typický pro stěnové vrstvy u elektrod s malou amplitudou. Střední energie Ar+ a N2+ iontů je zhruba 92% energie odpovídající plazmovému potenciálu. Objevuje se nízkoenergetický pás. Z toho usuzujeme na srážky ve stěnové vrstvě, které nejsou pozorovány pro N+ ionty. Průběh střední energie iontů je ve shodě s průběhem plazmového potenciálu. Koncentrace elektronů a iontů mají stejný profil.
Návaznosti
| MSM 143100003, záměr |
|