2004
Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
OHLÍDAL, Ivan; Miloslav OHLÍDAL; Daniel FRANTA; Vladimír ČUDEK; Vilma BURŠÍKOVÁ et al.Základní údaje
Originální název
Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
Název česky
Mechanická napětí v diamantu podobných uhlíkových vrstvách obsahující Si a O studovaná pomocí optických metod
Autoři
Vydání
Bellingham, Washington, USA, SPIE's 49th Annual Meeting, od s. 139-147, 9 s. 2004
Nakladatel
SPIE - The International Society for Optical Engineering
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/04:00010888
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
0-8194-5465-6
UT WoS
Klíčová slova anglicky
DLC films; mechanical stress; two-beam interferometry
Změněno: 3. 2. 2006 17:57, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
In this paper the quantitative dependence of the mechanical stress inside diamond-like carbon films containing Si and O atoms on a flow rate ratio of methane CH4 and hexamethyldisiloxane C6H18Si2O in the deposition mixture is determined. For this purpose the modified Stoney's formula is employed. The important quantities taking place in this formula, i.e. the radius of curvature of the spherical surface of a deformed silicon substrate because of the film stress and the film thickness, are determined using the combined optical method based on two-beam interferometry, variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the influence of the flow rate ratio on the values of the mechanical stresses taking place inside these films is negligible within the experimental accuracy achieved for determining these stresses if the total flow rate of gases used to be constant in the deposition mixture. A discussion of this fact is also performed. The film studied were prepared using the plasma enhanced chemical vapor deposition.
Česky
V tomto článku je určena kvantitativní závislost mechanických napětí uvnitř diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících Si a O na poměru průtoků metanu a hexamethyldisiloxanu v deposiční směsi. Pro tento účel je využita modifikovaná Stoneyova formule. Významné veličiny vyskytující se v této formuli, tj. poloměr křivosti sférického povrchu křemíkové podložky deformované kvůli napětí ve vrstvě a tloušťka vrstvy, jsou určeny pomocí dvoupaprskové interference, víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při kolmém dopadu světla. Je ukázáno, že vliv poměru průtoků na hodnoty mechanického napětí uvnitř vrstev je zanedbatelný v rámci experimentální přesnosti dosažené při určení tohoto napětí, pokud celkový tok plynů v deposiční směsi je konstantní. Diskuse této skutečnosti je také provedena. Studované vrstvy byly připraveny pomocí plasmově podporované chemické deposice.
Návaznosti
| GA101/04/2131, projekt VaV |
| ||
| MSM 143100003, záměr |
|