BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK a Vladislav NAVRÁTIL. Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech. In 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti". I. Košice: Hutnícka fakulta TU v Košiciach, 2005, s. 1-17. ISBN 80-8073-235-3.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech
Název česky Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech
Název anglicky Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates
Autoři BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Jan SOBOTA (203 Česká republika), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika) a Vladislav NAVRÁTIL (203 Česká republika).
Vydání I. Košice, 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti" od s. 1-17, 17 s. 2005.
Nakladatel Hutnícka fakulta TU v Košiciach
Další údaje
Originální jazyk čeština
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Slovensko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/05:00012468
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 80-8073-235-3
Klíčová slova anglicky Thin solid films; microhardness; low temperature plasma
Štítky low temperature plasma, Microhardness, Thin solid films
Příznaky Recenzováno
Změnil Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 8. 2. 2008 19:30.
Anotace
Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu.
Anotace anglicky
Mechanical properties of plasma deposited thin films on different substrates were investigated by mens of Depth Sensing Indentation method. The dependence on various parameters and temperature was studied.
Návaznosti
GA106/05/0274, projekt VaVNázev: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 21. 9. 2024 02:54