Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK a Vladislav NAVRÁTIL. Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech. In 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti". I. Košice: Hutnícka fakulta TU v Košiciach, 2005, s. 1-17. ISBN 80-8073-235-3. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech |
Název česky | Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech |
Název anglicky | Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates |
Autoři | BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Jan SOBOTA (203 Česká republika), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika) a Vladislav NAVRÁTIL (203 Česká republika). |
Vydání | I. Košice, 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti" od s. 1-17, 17 s. 2005. |
Nakladatel | Hutnícka fakulta TU v Košiciach |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | čeština |
Typ výsledku | Stať ve sborníku |
Obor | 10302 Condensed matter physics |
Stát vydavatele | Slovensko |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/05:00012468 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
ISBN | 80-8073-235-3 |
Klíčová slova anglicky | Thin solid films; microhardness; low temperature plasma |
Štítky | low temperature plasma, Microhardness, Thin solid films |
Příznaky | Recenzováno |
Změnil | Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 8. 2. 2008 19:30. |
Anotace |
---|
Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu. |
Anotace anglicky |
---|
Mechanical properties of plasma deposited thin films on different substrates were investigated by mens of Depth Sensing Indentation method. The dependence on various parameters and temperature was studied. |
Návaznosti | |
---|---|
GA106/05/0274, projekt VaV | Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů |
Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů | |
MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 21. 9. 2024 02:54