2005
Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings
ANTOŠ, Roman; Ivan OHLÍDAL; Daniel FRANTA; Petr KLAPETEK; Jan MISTÍK et al.Základní údaje
Originální název
Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings
Název česky
Spektroskopická elipsometrie sinusoidálních reliéfních mřížek
Autoři
ANTOŠ, Roman; Ivan OHLÍDAL; Daniel FRANTA; Petr KLAPETEK; Jan MISTÍK; Tomuo YAMAGUCHI a Štefan VIŠŇOVSKÝ
Vydání
Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.263
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00013177
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
Klíčová slova anglicky
Optical metrology; Spekroscopic ellipsometry; Sinusoidal gratings; Wood anomaly; RCWA; Incoherent light
Štítky
Změněno: 3. 2. 2006 17:49, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
Spectroscopic ellipsometry (SE) is used to study a sinusoidal-relief grating fabricated on a surface of transparent polymer. An optically thick polymer layer is situated on a glass substrate and its refraction index is optically matched to the index of the glass. The rigorous coupled-wave analysis, implemented as the airy-like internal reflection series, is applied to calculate the optical response of the relief grating. The entire optical response of the sample is determined by employing incoherent backreflections at the interface between the polymer and the glass. The parameters describing the dimensions and the real shape of the sine-like relief, as well as the quality of the optical matching between the polymer and the glass, are determined using SE together with atomic force microscopy as a complementary technique.
Česky
Spektroskopická elipsometrie (SE) je použita pro studium mřížek se sinusovým reliefem, které byly připraveny na povrchu transparentního polymeru. Opticky tlustá polymerní vrstva je umístěna na skleněnou podložku a její index lomu je opticky přizpůsoben s indexem lomu skla. Rigorosní analýza vázaných vln implementovaná jako airyho podobná řada vnitřních odrazů je aplikována pro výpočet optické odezvy reliefní mřížky. Celková optická odezva vzorku je určena s využitím zpětných odrazů na rozhraní mezi polymerem a sklem. Parametry popisující rozměry a skutečný tvar sinusového reliefu stejně tak jako kvalitu optického přizpůsobení mezi polymerem a sklem jsou určeny s využitím spektroskopické elipsometrie a mikroskopie atomové síly jako komplementární techniky.
Návaznosti
| GA202/03/0776, projekt VaV |
| |
| ME 574, projekt VaV |
|