Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK, Pavel SŤAHEL a Jiří BURŠÍK. Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique. Journal of Non-Crystalline Solids. Nizozemsko: Elsevier Science B.V., 2006, roč. 352, 9-20, s. 1242-1245. ISSN 0022-3093.

Základní údaje

• Originální název: Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique
• Název česky: Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou
• Autoři: BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant, domácí), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, domácí), Pavel SŤAHEL (203 Česká republika, domácí) a Jiří BURŠÍK (203 Česká republika).
• Vydání: Journal of Non-Crystalline Solids, Nizozemsko, Elsevier Science B.V. 2006, 0022-3093.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Nizozemské království
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 1.362
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/06:00015920
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000238782900092
• Klíčová slova anglicky: amorphous semiconductors; silicon; mechanical properties; creep; hardness; intendation; microintendation;ELASTIC-MODULUS; COATED SYSTEMS
• Štítky: amorphous semiconductors, COATED SYSTEMS, Creep, ELASTIC-MODULUS, hardness, intendation, mechanical properties, microintendation, Silicon
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

This work concerns the characterisation of mechanical properties of thin amorphous and microcrystalline silicon films deposited on glass and polyethylene terephthalate substrates. The film/substrate indentation response has been investigated from the near surface up to film/substrate interface using depth sensing indentation technique. The universal hardness, Vickers hardness, elastic modulus, fracture toughness and creep resistance of the studied films have been determined. Particular attention has been paid to the effects of the flexible viscoelastic-plastic substrate on the indentation response of the film/substrate system. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

Anotace česky

Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou

Návaznosti

• GA106/05/0274, projekt VaV: Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů

Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů

• GA202/05/0777, projekt VaV: Název: Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku

Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku