J 2005

Mechanical and optical properties of plasma-polymerized vinyltriethoxysilane

PŘIKRYL, Radek; Ladislav ČECH; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Jan VANĚK; S. BEHZADI et. al.

Základní údaje

Originální název

Mechanical and optical properties of plasma-polymerized vinyltriethoxysilane

Název česky

Mechanické a optické vlastnosti plazmově polymerovaného vinyltrietoxysilanu

Autoři

PŘIKRYL, Radek; Ladislav ČECH; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Jan VANĚK; S. BEHZADI a F.R. JONES

Vydání

Surface & coatings technology, Elsevier Science, 2005, 0257-8972

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.646

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000232327800103

Klíčová slova anglicky

Nanoindentation; Ellipsometry; PACVD; Plasma polymer

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:57, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

Plasma-polymerized films of vinyltriethoxysilane were deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition using an RF (13.56 MHz) helical coupling plasma system operated in pulsed regime. An effective power was reduced using pulsed plasma in order to decrease the degree of cross-linking of plasma polymer, which resulted in a material of lower Young's modulus. The Young's modulus and hardness of films increased for an enlarging effective power from 5.6 GPa (0.05 W) to 13.7 GPa (25 W) and from 0.8 to 1.7 GPa, respectively, if the time, when plasma is switched on, was fixed at 1 ms. The refractive index at a wavelength of 633 nm increased from 1.47 to 1.58 for those deposition conditions. Enlarging period the elastic modulus decreased for a constant power used.

Česky

Mechanické a optické vlastnosti plazmově polymerovaného vinyltrietoxysilanu