2005
Mechanical and optical properties of plasma-polymerized vinyltriethoxysilane
PŘIKRYL, Radek; Ladislav ČECH; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Jan VANĚK; S. BEHZADI et. al.Základní údaje
Originální název
Mechanical and optical properties of plasma-polymerized vinyltriethoxysilane
Název česky
Mechanické a optické vlastnosti plazmově polymerovaného vinyltrietoxysilanu
Autoři
PŘIKRYL, Radek; Ladislav ČECH; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Jan VANĚK; S. BEHZADI a F.R. JONES
Vydání
Surface & coatings technology, Elsevier Science, 2005, 0257-8972
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Nizozemské království
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.646
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000232327800103
Klíčová slova anglicky
Nanoindentation; Ellipsometry; PACVD; Plasma polymer
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:57, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
V originále
Plasma-polymerized films of vinyltriethoxysilane were deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition using an RF (13.56 MHz) helical coupling plasma system operated in pulsed regime. An effective power was reduced using pulsed plasma in order to decrease the degree of cross-linking of plasma polymer, which resulted in a material of lower Young's modulus. The Young's modulus and hardness of films increased for an enlarging effective power from 5.6 GPa (0.05 W) to 13.7 GPa (25 W) and from 0.8 to 1.7 GPa, respectively, if the time, when plasma is switched on, was fixed at 1 ms. The refractive index at a wavelength of 633 nm increased from 1.47 to 1.58 for those deposition conditions. Enlarging period the elastic modulus decreased for a constant power used.
Česky
Mechanické a optické vlastnosti plazmově polymerovaného vinyltrietoxysilanu