J 2006

In-situ investigations of Si and Ge interdiffusion in Si cascade structures

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Václav HOLÝ; Günther BAUER; Claudiu FALUB et. al.

Základní údaje

Originální název

In-situ investigations of Si and Ge interdiffusion in Si cascade structures

Název česky

In-situ studie Si a Ge interdifuse v Si kaskádových strukturách

Autoři

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Václav HOLÝ; Günther BAUER; Claudiu FALUB; Soichiro TSUJINO a Detlev GRÜTZMACHER

Vydání

Synchrotron Radiation in Natural Sciences, Warsaw, Polish Synchrotron Radiation Society, 2006, 1644-7190

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Polsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/06:00016352

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

x-ray reflectivity; multilayers; interdiffusion; SiGe

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 24. 1. 2007 14:21, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

We focus on investigation of temperature stability of simple strain symmetrized SiGe/Si multilayers designed similarly as the complicated quantum cascade structures with Ge content 30% and 80%. X-ray reflectivity and diffraction reciprocal space maps for all structures have been recorded at room temperature and during several isothermal annealing processes for temperatures ranging from 550 C up to 824 C.

Česky

Zaměřujeme se na studium teplotní stabitlity jednoduchých deformačně symetrizovaných SiGe/Si multivrstev navrhnutých podobně tak jako komplikované kvantově kaskádové struktury s obsahem Ge 30% a 80%. Reciproké mapy rtg reflexe a difrakce všech struktur byly zaznamenány při pokojové teplotě a během isotermického žíhání pro teploty v rozsahu od 550 C do 824 C.

Návaznosti

GP202/05/P286, projekt VaV
Název: Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
Investor: Grantová agentura ČR, Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur