J 2005

High Temperature in-situ Investigation of Si/SiGe Multilayers and Cascade Structures

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Claudiu FALUB; Günther BAUER; Detlev GRÜTZMACHER et. al.

Základní údaje

Originální název

High Temperature in-situ Investigation of Si/SiGe Multilayers and Cascade Structures

Název česky

Vysokotepltní studie SiGe-Si kaskádových emitorů v daleké infračervené oblasti

Autoři

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Claudiu FALUB; Günther BAUER a Detlev GRÜTZMACHER

Vydání

Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology, Praha, 2005, 1211-5894

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00020144

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

interdiffusion; x-ray diffraction; reflectivity

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 24. 1. 2007 14:40, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

From the temporal evolution of x-ray reflectivity data at high temperature, we obtained an evolution of Si-SiGe interfaces induced by diffusion. The results of our experiment demonstrate that the critical temperature for Ge inter-diffusion process in Si0.7Ge0.3 and Si0.2Ge0.8 depends not only on Ge content but also on the thickness of the individual layers.

Česky

Z časového vývoje dat rtg reflexe při vysových teplotách jsme získali vývoj Si-SiGe rozhraní indukované difuzí. Výsledky našeho experimentu ukazují, že kritická teplota pro interdifuzní proces Ge v Si0.7Ge0.3 a Si0.2Ge0.8 závisí nejen na obsahu Ge, ale také na tloušťce jednotlivých vrstev.

Návaznosti

GP202/05/P286, projekt VaV
Název: Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
Investor: Grantová agentura ČR, Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur