2006
Comparison of dispersion models in the optical characterization of As-S chalcogenide thin films
OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA; Martin ŠILER; František VIŽĎA; Miloslav FRUMAR et. al.Základní údaje
Originální název
Comparison of dispersion models in the optical characterization of As-S chalcogenide thin films
Název česky
Srovnání disperzních modelů pro optickou charakterizaci As-S chalkogenidových tenkých vrstev
Autoři
OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA; Martin ŠILER; František VIŽĎA; Miloslav FRUMAR; Jaroslav JEDELSKÝ a Jaroslav OMASTA
Vydání
Journal of Non-Crystalline Solids, NORTH-HOLLAND, 2006, 0022-3093
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Nizozemské království
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.362
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00016388
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000242919300022
Klíčová slova anglicky
ellipsometry; chalcogenides
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 5. 8. 2008 11:17, RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc.
V originále
In this paper, the optical analysis of the As–S thin films prepared under different conditions is performed using three dispersion models for amorphous materials typically employed in practice. The Tauc–Lorentz (TL) model, Urbach–Cody–Lorentz (UCL) model and our model based on the parameterization of the density of electronic states (PDOS model) are namely used to determine the optical parameters of these films. Within the structural model of the As–S films, the existence of the optical constants profiles and overlayers on to the upper boundaries of these films are included. Dispersion and structural models are employed within the analysis based on a combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and transmission spectrophotometry in conjunction with multi-sample modification. It is demonstrated that the TL model is not suitable for the optical characterization of the As–S thin films because of the absence of the Urbach tail. Furthermore, it is shown that both the UCL and PDOS models are satisfactory ones for the optical characterization of these films. Moreover, it is also shown that, using the PDOS dispersion model, one can evaluate the material parameters of these As–S films that correspond to the electronic band structure.
Česky
V tomto článku je studován vliv technologických podmínek, tj. koncentrace As, UV záření a zahřívání, na optické konstanty, tloušťku a materiálové parametry tenkých vrstev chalkogenidů typu As-S. Pro určení hodnot těchto parametrů je využita optická metoda založená na interpretaci experimentálních dat sestávajících se spektrálních závislostí propustnosti měřené při kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických veličin měřených v několika úhlech dopadu. V rámci interpretace experimentálních dat je využit Jellison-Modine dispersní model. V práci jsme ukázáno, že tento dispersní model není vhodný pro interpretaci spektrálních závislostí propustnosti studovaných tenkých vrstev. Navíc je při interpretaci experimentálních dat využit fyzikální model obsahující isotropní nehomogenní vrstvu pokrytou neabsorbující povrchovou vrstvou.
Návaznosti
| GA203/05/0524, projekt VaV |
| ||
| MO0FVT0000404, záměr |
|