2007
Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge
VAŠINA, Petr; Marcel MEŠKO; Jean-Christophe IMBERT; Mihai GANCIU; Caroline BOISSE-LAPORTE et al.Základní údaje
Originální název
Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge
Název česky
Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu
Autoři
VAŠINA, Petr; Marcel MEŠKO; Jean-Christophe IMBERT; Mihai GANCIU; Caroline BOISSE-LAPORTE; Ludovic DE POUCQUES; Michel TOUZEAU; Daniel PAGNON a Jean BRETAGNE
Vydání
Plasma Sources Science and Technology, Bristol, Institute of Physics Publishing, 2007, 0963-0252
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 2.120
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/07:00032077
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
Klíčová slova anglicky
magnetron; sputtering; high power pulses
Štítky
Změněno: 27. 3. 2010 10:46, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
V originále
The paper study high power impulse magnetron plasma by means of time reselved optical emision spectroscopy and electrical measurements.
Česky
Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu, článek
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
|