VAŠINA, Petr, Marcel MEŠKO, Jean-Christophe IMBERT, Mihai GANCIU, Caroline BOISSE-LAPORTE, Ludovic DE POUCQUES, Michel TOUZEAU, Daniel PAGNON a Jean BRETAGNE. Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge. Plasma Sources Science and Technology, Bristol: Institute of Physics Publishing, 2007, roč. 2007, č. 16, s. 501-510. ISSN 0963-0252.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge
Název česky Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu
Autoři VAŠINA, Petr (203 Česká republika, garant), Marcel MEŠKO (703 Slovensko), Jean-Christophe IMBERT (250 Francie), Mihai GANCIU (642 Rumunsko), Caroline BOISSE-LAPORTE (250 Francie), Ludovic DE POUCQUES (250 Francie), Michel TOUZEAU (250 Francie), Daniel PAGNON (250 Francie) a Jean BRETAGNE (250 Francie).
Vydání Plasma Sources Science and Technology, Bristol, Institute of Physics Publishing, 2007, 0963-0252.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Spojené království
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 2.120
Kód RIV RIV/00216224:14310/07:00032077
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000249094100010
Klíčová slova anglicky magnetron; sputtering; high power pulses
Štítky high power pulses, magnetron, sputtering
Změnil Změnil: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782. Změněno: 27. 3. 2010 10:46.
Anotace
The paper study high power impulse magnetron plasma by means of time reselved optical emision spectroscopy and electrical measurements.
Anotace česky
Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu, článek
Návaznosti
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkumné záměry
VytisknoutZobrazeno: 19. 2. 2020 03:00