HUMLÍČEK, Josef. In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures. physica status solidi (a), Applied research. Berlin: Akademie-Verlag, roč. 205, č. 4, s. 793-796. ISSN 1862-6300. 2008.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures
Název česky In-situ spectroscopická elipsometie: optimmalizace of monitorovacích a řídicích procedur
Autoři HUMLÍČEK, Josef (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání physica status solidi (a), Applied research, Berlin, Akademie-Verlag, 2008, 1862-6300.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Německo
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 1.205
Kód RIV RIV/00216224:14310/08:00025835
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000255702600018
Klíčová slova anglicky in situ ellipsometry; monitoring; closed loop control
Štítky closed loop control, in situ ellipsometry, Monitoring
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc., učo 307. Změněno: 3. 1. 2011 14:53.
Anotace
We discuss optimized extraction of information contained in a series of complex reflectance ratios in a series of consecutive, in-situ SE measurements during the growth of thin films. We present a general computational scheme and discuss guidelines for the optimum data treatment. As an example, we analyze several hundreds of spectra recorded during the growth of diamond-like carbon on TiCN/steel substrate.
Anotace česky
Diskutujeme optimalizovanou extrakci informace obsažené v serii komplexních poměrů odrazivostí z in situ elipsometrických měření pořízených během růstu tenkých vrstev. Předkládáme obecné výpočetní schema a diskutujeme vodítka pro optimální zacházení s daty. Jako příklad uvádíme analýzu nekolika stovek spekter zaznamenaných při růstu diamantu podobných uhlíkových vrstev na sustrátech ocel/TiN.
Návaznosti
MSM0021622410, záměrNázev: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
VytisknoutZobrazeno: 29. 3. 2024 01:42