J 2008

Multiplate misalignment artifacts in rotating-complensator ellipsometry: Analysis and data treatment

MARŠÍK, Přemysl a Josef HUMLÍČEK

Základní údaje

Originální název

Multiplate misalignment artifacts in rotating-complensator ellipsometry: Analysis and data treatment

Název česky

Artefakty v elipsometrii s rotačním kompenzátorem: analýza a zacházení s daty

Autoři

MARŠÍK, Přemysl (203 Česká republika) a Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika, garant)

Vydání

physica status solidi (c), Weinheim, WILEY-VCH Verlag GmbH, 2008, 1610-1634

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/08:00026013

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000256862500015

Klíčová slova anglicky

ellipsometry; rotating compensator

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 9. 4. 2010 16:47, Mgr. Přemysl Maršík, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Rotating compensator ellipsometry using multi-plate retarders can suffer from various artifacts. Our measurements in the range from 1.4 to 6.2 eV revealed spurious oscillations in ellipsometric parameters. We assign these oscillations to the angular misalignment between the individual plates of the retarder. A simple model using Mueller matrix framework is constructed to describe the observed effects and to elucidate the origin of the artifacts. The model is used to predict the impact of the artifacts on the results of signal analysis, and a calibration procedure is presented. Finally, the knowledge of the origin of the artifacts has been successfully used to reduce substantially the spurious oscillations in measured data.

Česky

Elipsometrie s rotujícím kompenzátorem, používající vícedeskové retardéry, může trpět různými artefakty. Naše měření v oboru 1.4 až 6.2 eV odhalila rušivé oscilace elipsometrických parametrů Tyto oscilace přiřazujeme nesouladu úhlových poloh jednotlivých desek retardéru.

Návaznosti

MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur