2008
Influence of shadowing on ellipsometric quantities of randomly rough surfaces and thin films
OHLÍDAL, Ivan a David NEČASZákladní údaje
Originální název
Influence of shadowing on ellipsometric quantities of randomly rough surfaces and thin films
Název česky
Vliv stínění na elipsometrické veličiny náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev
Autoři
OHLÍDAL, Ivan a David NEČAS
Vydání
Journal of modern optics, Londýn, Taylor & Francis Ltd. 2008, 0950-0340
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10306 Optics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.062
Kód RIV
RIV/00216224:14310/08:00026336
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000256763900005
Klíčová slova anglicky
ellipsometry; rough surfaces; rough films; shadowing; scalar diffraction theory
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 1. 9. 2008 15:29, Mgr. David Nečas, Ph.D.
V originále
The formulae enabling us to calculate the values of the ellipsometric parameters of randomly rough surfaces and very thin films with randomly rough boundaries with respect to the influence of the shadowing between the irregularities of roughness are presented. These formulae are derived within the scalar diffraction theory of light. The first formula allows the calculation of the ellipsometric parameters using a numerical method, while the second formula is the approximative one but it expresses the ellipsometric parameters in a closed form. The numerical analysis of both formulae is performed for several examples of randomly rough surfaces and thin films. Moreover, the comparison of the results achieved using both formulae respecting the shadowing and an earlier formula not including this effect is performed. The experimental data of two samples of the randomly rough silicon surfaces covered with very thin surface layers are interpreted using all the formulae mentioned. Using this experimental study, the correctness of both formulae taking into account the shadowing, is confirmed.
Česky
Jsou presentovány vzorce umozňující nám vypočíst hodnoty elipsometrických parametrů náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev s náhodně drsnými rozhraními s ohledem na vliv stínění mezi nerovnostmi drsnosti. Tyto vzorce jsou odvozeny v rámci skalární difrakční teorie světla. První vzorec umožňje výpočet elipsometrických parametrů pomocí numerických metod, zatímco druhá formule je přibližná, ale vyjadřuje elipsometrické parametry v uzavřeném tvaru. Oba vzorce jsou numericky zkoumány na několika příkladech drsných povrchů a tenkých vrstev. Navíc jsou porovnány výsledky dosažené s použitím obou vzorců beroucích v úvahu stínění s výsledky dřívějších vzorců, které tento jev v úvahu neberou. Pomocí všech vzorců jsou vyhodnocena experimentální data dvou vzorků náhodně drsného povrchu křemíku pokrytého velmi tenkou povrchovou vrstvou. Touto experimentální studií je potvrzena správnost obou vzorců započítávajících stínění.
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
|