J 2008

Optical quantities of rough films calculated by Rayleigh-Rice theory

FRANTA, Daniel; Ivan OHLÍDAL a David NEČAS

Základní údaje

Originální název

Optical quantities of rough films calculated by Rayleigh-Rice theory

Název česky

Optické veličiny drsných vrstev počítané pomocí Rayleigh-Riceovy teorie

Autoři

Vydání

physica status solidi (c), Weinheim, WILEY-VCH Verlag GmbH, 2008, 1610-1634

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/08:00026960

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000256862500095

Klíčová slova anglicky

thin-films; rough film; ellipsometry; spectrophotometry

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 3. 7. 2009 09:38, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Experimental ellipsometric and spectroscopic data of a randomly rough silicon substrate are treated using several theoretical approaches. It is shown that the effective medium approximation and scalar diffraction theory are unsuitable approaches for treating the experimental data of rough surfaces containing spatial frequencies comparable with the wavelength of incident light. Using the Rayleigh-Rice theory one can obtain an excellent fit of the experimental data and very close agreement between the values of the statistical parameters determined using the optical method and atomic force microscopy.

Česky

Experimental ellipsometric and spectroscopic data of a randomly rough silicon substrate are treated using several theoretical approaches. It is shown that the effective medium approximation and scalar diffraction theory are unsuitable approaches for treating the experimental data of rough surfaces containing spatial frequencies comparable with the wavelength of incident light. Using the Rayleigh-Rice theory one can obtain an excellent fit of the experimental data and very close agreement between the values of the statistical parameters determined using the optical method and atomic force microscopy.

Návaznosti

MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek