DVOŘÁK, Pavel a Zdeněk MORAVEC. Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma. In 2nd CESPC - Book of extended abstracts. Brno: Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM, 2008. s. 74.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma
Název česky Vyšší harmonické frekvence měřené v kapacitně vázaném plazmatu
Autoři DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Zdeněk MORAVEC (203 Česká republika).
Vydání Brno, 2nd CESPC - Book of extended abstracts, s. 74-74, 2008.
Nakladatel Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/08:00027077
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky plasma; higher harmonics
Štítky higher harmonics, plasma
Změnil Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 22. 12. 2008 11:27.
Anotace
Measurement of higher harmonic frequencies in low-pressure capacitive discharge and dependence of their amplitudes on the matching unit parameters.
Anotace česky
Měření vyšších harmonických frekvencí v nízkotlakém kapacitně vázaném výboji a závislost jejich amplitud na parametrech přizpůsobovacího členu.
Návaznosti
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkumné záměry
VytisknoutZobrazeno: 31. 5. 2020 19:43