FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL a David NEČAS. Influence of cross-correlation effects on the optical quantities of rough films. Online. Optics Express. elektronicky: Optical Society of America, 2008, roč. 16, č. 11, s. 7789–7803. ISSN 1094-4087. [citováno 2024-04-24]
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Influence of cross-correlation effects on the optical quantities of rough films
Název česky Vliv vzájemných korelačních efektů na optické veličiny drsných vrstev
Autoři FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika) a David NEČAS (203 Česká republika)
Vydání Optics Express, elektronicky, Optical Society of America, 2008, 1094-4087.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10306 Optics
Stát vydavatele Spojené státy
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 3.880
Kód RIV RIV/00216224:14310/08:00025416
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000256469900025
Klíčová slova anglicky Roughness; Rayleigh-Rice theory; Cross-correlation effects
Štítky Cross-correlation effects, Rayleigh-Rice theory, Roughness
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000. Změněno: 3. 7. 2009 09:45.
Anotace
Within the Rayleigh-Rice theory the influence of layer boundary roughness on coherently reflected light is expressed using very complex formulae. Therefore we deal with the simplification of these formulae by employing an approximation based on neglecting cross-correlation effects between both the rough boundaries. It is shown that if the mean distance of the boundaries (mean thickness) is sufficiently large in comparison with the lateral dimensions of the roughness it is possible to describe the individual boundaries of the layers by matrices corresponding to isolated rough surfaces. This fact enables us to simplify the formulae for the optical quantities in a substantial way, which also simplifies the numerical calculation needed for the inverse problem. This statement is illustrated by means of a numerical analysis simulating ellipsometric and reflectometric data of rough silicon dioxide layers placed onto silicon single crystal substrates.
Anotace česky
Within the Rayleigh-Rice theory the influence of layer boundary roughness on coherently reflected light is expressed using very complex formulae. Therefore we deal with the simplification of these formulae by employing an approximation based on neglecting cross-correlation effects between both the rough boundaries. It is shown that if the mean distance of the boundaries (mean thickness) is sufficiently large in comparison with the lateral dimensions of the roughness it is possible to describe the individual boundaries of the layers by matrices corresponding to isolated rough surfaces. This fact enables us to simplify the formulae for the optical quantities in a substantial way, which also simplifies the numerical calculation needed for the inverse problem. This statement is illustrated by means of a numerical analysis simulating ellipsometric and reflectometric data of rough silicon dioxide layers placed onto silicon single crystal substrates.
Návaznosti
FT-TA3/142, projekt VaVNázev: Analýza optických vlastností solárních článků.
Investor: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, Analýza optických vlastností solárních článků
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 24. 4. 2024 03:23