Silicon Processing for the VLSI Era

Přeskočit na horní lištu Přeskočit na hlavičku Přeskočit na obsah Přeskočit na patičku

Publikace Přehled o publikaci

Přehled o publikaci

B 1999

Silicon Processing for the VLSI Era

WOLF, Stanley a Richard N. TAUBER

Základní údaje

Originální název

Silicon Processing for the VLSI Era

Autoři

WOLF, Stanley a Richard N. TAUBER

Vydání

Sunset Beach, California, U.S.A. 960 s. Vol. 1: Process Technology, 1999

Nakladatel

Lattice Press

Další údaje

Typ výsledku

Odborná kniha

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

ISBN

978-0961672164

Klíčová slova anglicky

semiconductors; device fabrication

Změněno: 5. 1. 2009 14:19, RNDr. Petr Pánek, Ph.D.

WOLF, Stanley a Richard N. TAUBER. Silicon Processing for the VLSI Era. Sunset Beach, California, U.S.A.: Lattice Press, 1999, 960 s. Vol. 1: Process Technology. ISBN 978-0961672164.

@book{806486,
   author = {Wolf, Stanley and Tauber, Richard N.},
   address = {Sunset Beach, California, U.S.A.},
   keywords = {semiconductors; device fabrication},
   location = {Sunset Beach, California, U.S.A.},
   isbn = {978-0961672164},
   publisher = {Lattice Press},
   title = {Silicon Processing for the VLSI Era},
   year = {1999}
}

TY  - BOOK
ID  - 806486
AU  - Wolf, Stanley - Tauber, Richard N.
PY  - 1999
TI  - Silicon Processing for the VLSI Era
VL  - Vol. 1: Process Technology
PB  - Lattice Press
CY  - Sunset Beach, California, U.S.A.
SN  - 9780961672164
KW  - semiconductors
KW  - device fabrication
ER  -

WOLF, Stanley a Richard N. TAUBER. \textit{Silicon Processing for the VLSI Era}. Sunset Beach, California, U.S.A.: Lattice Press, 1999, 960 s. Vol. 1: Process Technology. ISBN~978-0961672164.