2009
Characterization of non-uniform diamond-like carbon films by spectroscopic ellipsometry
OHLÍDAL, Ivan, David NEČAS, Daniel FRANTA a Vilma BURŠÍKOVÁZákladní údaje
Originální název
Characterization of non-uniform diamond-like carbon films by spectroscopic ellipsometry
Název česky
Charakterizace neuniformních vrstev diamantu-podobného uhlíku pomocí spektroskopické elipsometrie
Autoři
OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant, domácí), David NEČAS (203 Česká republika, domácí), Daniel FRANTA (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí)
Vydání
Diamond and Related Materials, New York, Elsevier Science S.A. 2009, 0925-9635
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Švýcarsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.822
Kód RIV
RIV/00216224:14310/09:00029162
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000264429300060
Klíčová slova česky
diamantu podobné uhlíkové vrstvy; tloušťková neuniformita; materiálové paramtery; optické konstanty
Klíčová slova anglicky
diamond-like carbon films; thickness non-uniformity; material parameters; optical constants
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 18. 6. 2020 15:47, Mgr. Marie Šípková, DiS.
V originále
In practice many films prepared using various technologies exhibit stronger or slighter area non-uniformity. Diamond-like carbon (DLC) films are also prepared with this non-uniformity sometimes. In this contribution will be shown how to take into account the thickness non-uniformity of the films when their optical characterization is carried out using spectrometric ellipsometry. Two new formulas expressing each of the three associated ellipsometric parameters, i.e. three components of the Stokes vector, of the films exhibiting thickness non-uniformity will be presented for phase modulated ellipsometry.
Česky
V praxi řada vrstev připravených různými technologiemi vykazuje slabší či silnější plošnou neuniformitu. Diamantu-podobné uhlíkové (DLC) vrstvy jsou také někdy vyrobeny s touto neuniformitou. V tomto příspěvku bude ukázáno, jak zahrnout tloušťkovou neuniformitu vrstev při optické charakterizaci pomocí spektroskopické elispometrie. Jsou ukázány dva nové vzorce vyjadřující komponenty Stokesova vektoru vrstev vykazující tloušťkovou neuniformitu pro fázově modulovanou elipsometrii.
Návaznosti
| GA202/07/1669, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|