J 2009

Optical Characterization of Ultra-Thin Iron and Iron Oxide Films

NEČAS, David; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Daniel FRANTA; Pavel SŤAHEL; Petr MIKULÍK et. al.

Základní údaje

Originální název

Optical Characterization of Ultra-Thin Iron and Iron Oxide Films

Název česky

Optická charakterizace ultratenkých vrstev železa a kysličníků železa

Vydání

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, Tokyo, The Surface Science Society of Japan, 2009, 1348-0391

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Japonsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/09:00028505

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

železo; kysličník železa; elipsometrie; spektrofotometrie; odrazivost Röntgenových paprsků

Klíčová slova anglicky

iron; iron oxide; thin films; ellipsometry; spectrophotometry; X-ray reflection

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 3. 2013 09:17, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

Ultra-thin films of 57Fe deposited on silicon substrates and SiOxCyHz support layers and subsequently oxidized in laboratory atmosphere are studied by two optical methods: the combination of UV/VIS/NIR spectroscopic ellipsometry and spectrophotometry, used to find layer thicknesses and optical constants, and X-ray specular reflectometry, used to obtain the electron density depth profile. The results of both methods are compared and found to be in a relatively good agreement.

Česky

Velmi tenké vrstvy 57Fe připravené na křemíkových podložkách a podpůrných vrstvách z SiOxCyHz a následně okysličené v laboratorní atmosféře jsou studovány pomocí dvou optických metod: kombinace UV/vis/NIR spektroskopické elipsometri a spektrofotometrie, použité k nalezení tloušťek a optických konstant, a odrazivosti Röntgenových paprsků, použité k získání profilu elektronové hustoty. Výsledky obou metod jsou srovnány a shledány býti v poměrně dobré shodě.

Návaznosti

KAN311610701, projekt VaV
Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek