Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)

HOUŠKA, Jan, Vilma BURŠÍKOVÁ a Josef HAVEL. Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si). In Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8. 1. vyd. Brno: JČMF, 2009, s. 46. ISBN 978-80-214-3875-0.

Základní údaje

• Originální název: Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)
• Název česky: Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)
• Autoři: HOUŠKA, Jan, Vilma BURŠÍKOVÁ a Josef HAVEL.
• Vydání: 1. vyd. Brno, Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8, s. 46-46, 2009.
• Nakladatel: JČMF

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 978-80-214-3875-0
• Klíčová slova česky: Laser ablation; time-of-flight mass spectrometry; silicon doped diamond-like carbon
• Klíčová slova anglicky: Laser ablation; time-of-flight mass spectrometry; silicon doped diamond-like carbon
• Štítky: laser ablation, silicon doped diamond-like carbon, time-of-flight mass spectrometry

Anotace

Silicon-doped diamond-like carbon (DLC-Si) was prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from a mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen using dual frequenci capacitive discharge. Time of flight mass spectrometer equipped with nitrogen laser (337 nm) was used to charakterize its structure via laser ablation. Stoichometry of positively or negatively charged species was confirmed via isotopic pattern simulation. DLC-Si material shows typical spectral patterns similar to those diamond-like carbon. In addition, chemical bound of Si-C in this material was proved and many positively or negatively charged O(m)Si(n)C(o)H(p) species were identified in plasma plume.

Anotace česky

Silicon-doped diamond-like carbon (DLC-Si) was prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from a mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen using dual frequenci capacitive discharge. Time of flight mass spectrometer equipped with nitrogen laser (337 nm) was used to charakterize its structure via laser ablation. Stoichometry of positively or negatively charged species was confirmed via isotopic pattern simulation. DLC-Si material shows typical spectral patterns similar to those diamond-like carbon. In addition, chemical bound of Si-C in this material was proved and many positively or negatively charged O(m)Si(n)C(o)H(p) species were identified in plasma plume.

Návaznosti

• GA202/07/1669, projekt VaV: Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

• KAN311610701, projekt VaV: Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie

Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie

• MSM4977751303, záměr: Název: Predikce poruch heterogenních materiálů, komponent mechanických a biomechanických systémů.