2009
Measurement of plasma potential waveform in capacitive discharge
DVOŘÁK, PavelZákladní údaje
Originální název
Measurement of plasma potential waveform in capacitive discharge
Název česky
Měření průběhu potenciálu plazmatu kapacitního výboje
Autoři
DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant, domácí)
Vydání
ICPIG 2009 - Conference proceedings, 2009
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Mexiko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/09:00049592
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
potenciál plazmatu; vyšší harmonické frekvence; kapacitně vázaný výboj; plazma
Klíčová slova anglicky
plasma potential; higher harmonic frequencies; capacitively coupled discharge; plasma
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 5. 4. 2012 13:13, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
V originále
The uncompensated probe was used for measurement of plasma potential waveforms. A method is presented that enables calculation of probe sheath voltage and, consequently, enables to get the plasma potential waveform by means of probe measurements. The method was successfully tested in nitrogen plasma. In order to get reliable results the method requires knowledge of plasma parameters which can be measured by a compensated Langmuir probe. It was shown that the waveforms of plasma potential and probe voltage differ significantly. Therefore, the influence of the probe sheath voltage whose calculation is presented can not be neglected by measurement of the plasma potential. At low pressure, the plasma potential waveform contained high amount of higher harmonic frequencies that were ignited namely during the fast expansion of the sheath at the powered electrode.
Česky
Popis, test a první výsledky metody umožňující měřit průběh potenciálu plazmatu pomocí nekompenzované sondy.
Návaznosti
| GA202/07/1669, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|