J 2009

X-ray diffraction on precipitates in Czochralski-grown silicon

CAHA, Ondřej a Mojmír MEDUŇA

Základní údaje

Originální název

X-ray diffraction on precipitates in Czochralski-grown silicon

Název česky

Rtg difrakce na precipitátech v Czochralského křemíku

Autoři

Vydání

Physica B condensed matter, Amsterdam, Elsevier Science, 2009, 0921-4526

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.056

Kód RIV

RIV/00216224:14310/09:00029726

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000276029300035

Klíčová slova česky

křemík; rtg. difrakce; precipitáty

Klíčová slova anglicky

Silicon; X-ray diffraction; Precipitates

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 3. 1. 2010 18:07, doc. Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

The results of a study of oxygen precipitates in Czochralski grown silicon are reported. High-resolution X-ray diffraction was used to measure reciprocal space maps on samples after various annealing treatment. The measurements were performed for several diffraction orders and systematic differences between reciprocal space maps around different diffractions were found. The diffuse X-ray scattering intensity was simulated, where the displacement field of precipitates was calculated using continuum elasticity theory. The simulations give correct asymptotic behavior and the interpretation of intermediate region between Huang and core scattering processes is found. The X-ray diffraction results are correlated to the infrared absorption spectroscopy measurement involving the interstitial oxygen concentration.

Česky

Jsou uvedeny výsledky studie precipitace kyslíku v CZ Si. Rtg difrakce s vysokým rozlišením byla použita pro měření map reciprokého prostoru na vzorcích s různým žíhacím procesem. Měření byla provedena pro několik řádů difrakce a byly zjištěny systematické rozdíly. Byl simulován difuzní rtg rozptyl, kde bylo počítáno pole posunutí od precipitátu za použití teorie elasticity kontinua. Simulace dávají správné asymptotické chování a byla nalezena interpretace oblasti mezi Huangovým rozptylem a rozptylem na jádře. Výsledky rtg difrakce jsou korelovány s měřením infračervené absorpční spektroskopie poskytující koncentraci intersticiálního kyslíku.

Návaznosti

GA202/09/1013, projekt VaV
Název: Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku
Investor: Grantová agentura ČR, Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku
GP202/09/P410, projekt VaV
Název: Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích
Investor: Grantová agentura ČR, Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur