Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

NAVRÁTIL, Zdeněk a David TRUNEC. Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy. In Proceedings of XXIX ICPIG. 2009.

Základní údaje

• Originální název: Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy
• Název česky: Stanovení parametrů plazmatu RF výboje v neonu pomocí optické emisní spektroskopie
• Autoři: NAVRÁTIL, Zdeněk (203 Česká republika, garant, domácí) a David TRUNEC (203 Česká republika, domácí).
• Vydání: Proceedings of XXIX ICPIG, 2009.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Konferenční abstrakt
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Mexiko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/09:00049386
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova česky: neon; RF výboj; koncentrace elektronů; srážkově-radiační model; optická spektroskopie
• Klíčová slova anglicky: neon; RF discharge; electron density; c-r model; optical spectroscopy
• Štítky: IK, rivok
• Příznaky: Mezinárodní význam

Anotace

Electron density and electron temperature was determined in RF (13.56 MHz) discharge in neon. Collisional-radiative model was applied to determine the theoretical spectra of the discharge for specific plasma parameters. These parameters could be then determined from the best fit of the measured and theoretical spectra. Absolute intensity measurement of plasma emission coefficients of 26 neon lines provided the determination of electron density, their relative intensities determined the electron temperature. Both electron temperature and density were measured as a function of RF power. It was found, that with increasing power the electron density increases, but electron temperature decreases.

Anotace česky

V RF výboji v neonu byla měřena koncentrace elektronů a elektronová teplota. Studium bylo zaměřeno na oblast výboje v blízkosti elektrody. Parametry byly studovány v závislosti na elektrickém výkonu dodávaném do výboje.

Návaznosti

• GA202/09/0800, projekt VaV: Název: Výzkum a použití impulsních a mikrovlnných zdrojů plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Výzkum a použití impulsních a mikrovlnných zdrojů plazmatu

• KAN101630651, projekt VaV: Název: Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku

Investor: Akademie věd ČR, Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek