a 2009

Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

SCHMIDTOVÁ, Tereza a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

Název česky

Potlačené hysterezní chování rozprašování titanu v acetylenu.

Autoři

Vydání

International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009, 2009

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/09:00049603

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

modelovaní; magnetron; hystereze

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; reactive; hysteresis

Štítky

Změněno: 5. 4. 2012 13:54, Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

This contribution deals with suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in argon and acetylene mixture.

Česky

Tento příspěvek pojednává o potlačeném hysterezní chování rozprašování titanu ve směsi acetylenu a argonu.

Návaznosti

GP202/08/P038, projekt VaV
Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek