2008
Design and Fabrication of High-Temperature SOI Strain-Gauges
KULHA, P.; A. BOURA; M. HUSÁK; Petr MIKULÍK; Milan KUČERA et. al.Základní údaje
Originální název
Design and Fabrication of High-Temperature SOI Strain-Gauges
Název česky
Návrh a výroba vysokoteplotních SOI napěťových senzorů
Autoři
KULHA, P. (203 Česká republika); A. BOURA (203 Česká republika); M. HUSÁK (203 Česká republika); Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant); Milan KUČERA (203 Česká republika) a Stanislav VALENDA (203 Česká republika)
Vydání
New York, 7th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems, od s. 175-178, 4 s. 2008
Nakladatel
IEEE
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
20201 Electrical and electronic engineering
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/08:00038454
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-1-4244-2325-5
UT WoS
000263223200039
Klíčová slova česky
napěťové sensory; senzory tlaku
Klíčová slova anglicky
High-Temperature SOI Strain-Gauges; sensors
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 15. 1. 2010 15:36, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
V originále
The following paper introduces the CoventorWare design environment for SOI based piezoresistive sensor design. Fabrication process and characterization of designed sensors is also presented. The software package Coventor Ware has been used for design of mechanical and electrical characteristics of the structure. The tools enable design, modelling and successive modification of designed MEMS structures. The program enables: drawing of 2D layout and its editing, simulation of production process, generation of 3D model from 2D masks, generation of network by the method of finite elements, solution of mechanical, piezoresistive, thermal and further simulations. Simple passive elements (strain sensitive resistors - piezoresistors) were fabricated on SIMOX SOI substrates with sputtered AlCuSi metallization. Basic parameter extraction and their temperature dependence were performed.
Česky
Článek je věnován piezorezistivním senzorů. Jejich návrh byl provedený softwarem CoventorWare, který umožnil mehcanickou a elektrickou charakterizaci struktury. Podle návrhu byly vyrobeny jednoduché pasivní elementy na SIMOX SOI s naprášenou AlCuSi metalizací a provedena jejich charakterizace.
Návaznosti
| MSM0021622410, záměr |
|