ZELINA, Peter, Vít KUDRLE a Ondřej JAŠEK. Alternative method for flow measurement of clog producing gases and liquids in PVD and PECVD processes. In Pavel Baroch. Book of Extended Abstracts POTENTIAL AND APPLICATIONS OF THIN CERAMIC AND METAL COATINGS 2011. 1. vyd. Plzeň: University of West Bohemia. s. 87-88. ISBN 978-80-261-0009-6. 2011.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Alternative method for flow measurement of clog producing gases and liquids in PVD and PECVD processes
Název česky Alternativní metoda měření průtoku plynů a kapalin v depozících PVD a PECVD
Autoři ZELINA, Peter (703 Slovensko, domácí), Vít KUDRLE (203 Česká republika, garant, domácí) a Ondřej JAŠEK (203 Česká republika, domácí).
Vydání 1. vyd. Plzeň, Book of Extended Abstracts POTENTIAL AND APPLICATIONS OF THIN CERAMIC AND METAL COATINGS 2011, od s. 87-88, 2 s. 2011.
Nakladatel University of West Bohemia
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Forma vydání tištěná verze "print"
Kód RIV RIV/00216224:14310/11:00067384
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 978-80-261-0009-6
Klíčová slova česky měření průtoku; PECVD; Pitotova trubice; Pentakarbonyl železa
Klíčová slova anglicky flow measurement; PECVD; Prandtl-Pitot tube; Iron pentacarbonyl
Změnil Změnil: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560. Změněno: 27. 4. 2013 11:54.
Anotace
In this work we present a method to measure gas flow where conventional mass flow-meters cannot be used. These are the cases when one operates with highly reactive gases, unstable substances or meets other difficulties. We successfully used Prandtl-Pitot tube for measurement of iron pentacarbonyl flow during the process of plasma synthesis of nanoparticles.
Anotace česky
V této práci je použita metoda měření průtoku plynů v případě. kdy nelze použít elektronické průtokoměry, jako například vysoce reaktivní plyny, nestabilní látky nebo dochází k jiným typům komplikací při použití průtokoměrů. Úspěšně jsme použilu metodu využívající Pitotovu trubici pro měření průtoku pentakarbonylu železa př syntéze železných nanočástic metodou PECVD.
Návaznosti
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 28. 3. 2024 23:39