Diplomová práce

Zpětnovazební řízení reaktivního magnetronového naprašování zařízením Speedflo

Feedback system to control reactive magnetron sputtering

Bc. Peter Klein, učo 269740
Anotace

Táto práca je venovaná štúdiu riadenia a teoretického modelovania procesu reaktívneho magnetrónového naprašovania. Opísané sú tu fyzikálne princípy samotného magnetrónového naprašovania ako aj hysterézne správanie pri pripustení reaktívneho plynu. Je tu prezentované a podrobne otestované komerčne používané zariadenie Speedflo, ktoré umožňuje spätnoväzobné riadenie takéhoto procesu. Pri rôzne definovaných …více

Abstract

This work is dedicated to the study of control and theoretical modeling of reactive magnetron sputtering process. Physical properties of magnetron sputtering and hysteresis behavior by inlet of reactive gas are described. Commercially used device Speedflo, which is able to feedback control this process, is presented and tested in detail. The abilities to control process of reactive magnetron sputtering …více

Klíčová slova
Magnetrón Naprašovanie Speedflo Sputtering
Zadání práce
Správné řízení depozičního procesu je extrémně důležité pro přípravu nových materiálů reaktivním magnetronovým naprašováním. Vrstvy o správně stoichiometrii obvykle rostou v těsné blízkosti přechodu mezi dvěma zcela odlišnými režimy depozičního procesu. Cílem této bakalářské práce je nainstalovat do depoziční komory komerční, nově zakoupené zařízení pro zpětnovazebnou kontrolu průtoku reaktivního plynu při reaktivním magnetronovém naprašování, ověřit jeho činnost a nastavit parametry zpětné vazby pro různé kombinace rozprašovaného materiálu a reaktivního plynu. Kromě klasických experimentů s jedním reaktivním plynem proveďte i experimenty ve směsi tvořené dvěma reaktivními plyny - např. vodík+kyslík, acatylen+dusík apod. Měřené výsledky interpretujte.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
21. 5. 2012 16:46, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
5,9 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
12. 6. 2012
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782

Konzultanti

doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
DMP ÚFTP Fyz PřF MU
Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Peter Klein PřF N-FY PLAZ, učo 269740 eksub/6
Klein, P.
23. 4. 2012
Složky
Soubory
Anotace anglicky annotation_english.txt
Klein, P.
14. 5. 2012
Anotace česky annotation.txt
Klein, P.
14. 5. 2012
Klíčová slova keywords.txt
Klein, P.
14. 5. 2012
Plný text práce diplomka.pdf
Klein, P.
14. 5. 2012
Posudek oponenta klein-oponent.pdf
Vašina, P.
30. 5. 2012

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.