Disertační práce

Industrial deposition and characterization of ternary nitride thin films

Sahand Behrangi, M.Sc., učo 491709
Anotace

Tato práce zkoumá přípravu ternárních nitridů – konkrétně povlaků TiZrN, ZrN-Cu a TiN-Ag – pomocí technik PVD v průmyslovém měřítku, se zaměřením na jejich charakterizaci a vlastnosti. V případě TiZrN studie zkoumá vliv měnícího se obsahu Zr v mřížce TiN na mikrostrukturu, fázové složení, krystalinitu a mechanické vlastnosti. Dále jsou analyzovány účinky dvou klíčových parametrů depozice – parciálního …více

Abstract

This thesis investigates the deposition of ternary nitrides—namely TiZrN, ZrN-Cu, and TiN-Ag coatings—using PVD techniques at an industrial scale, focusing on their characterization and properties. In the case of TiZrN, the study examines the influence of varying Zr content within the TiN lattice on microstructure, phase composition, crystallinity, and mechanical properties. Additionally, the effects …více

Klíčová slova
Magnetron sputtering Ternary nitrides Nitrogen partial pressure Mechanical properties Fracture toughness Antibacterial coatings High touch surfaces
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
30. 6. 2025 10:09, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
44,2 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
2. 9. 2025
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

doc. RNDr. František Lofaj, DrSc.
Ústav materiálového výskumu SAV, v. v. i.
prof. Ing. Petr Zeman, Ph.D.
FAV ZČU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika plazmatu

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.