Disertační práce

Plasma Enhanced CVD of Multicomponent Functional Coatings

Mihai George Muresan, M.Sc.
Anotace

Práce je věnována studiu depozice tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Zkoumány byly dva druhy vrstev: diamantu podobné (DLC) vrstvy a SiOx vrstvy. Cílem bylo připravit tvrdé ochranné vrstvy s nízkým otěrem, nízkým koeficientem tření a s dobrou přilnavostí k ocelovému substrátu. DLC vrstvy byly na ocelový substrát připraveny jednak úpravou DLC struktur přidáním dusíku …více

Abstract

This thesis presents an investigation into plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of thin films. Two film types were investigates: diamond-like (DLC) and silicon oxide (SiOx) films. The goal was to prepare hard protective coatings, with low wear and friction coefficient and with good adhesion to steel substrates. A modification of the DLC structure by nitrogen addition or the use of an interlayer …více

Klíčová slova
PECVD DLC uhlík tribologické vlastnosti mechanické vlastnosti SiOx mezivrstev ocel carbon tribological properties mechanical properties interlayer steel
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
13. 11. 2015 00:24, prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
Plný text práce
6,9 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
14. 12. 2015
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

Prof. hab. dr. Sigitas Tamulevičius
Kaunas University of Technology, Lithuania
doc. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D.
MFF UK, Praha
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika (čtyřleté)
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.