Diplomová práce

Studium tenkých vrstev a povrchů optickými spektroskopickými metodami

Study of thin films and surfaces by optical spectroscopic methods

Bc. Pavel Ondračka, učo 324363
Anotace

Tato diplomová práce se věnuje zkoumání tenkých DLC vrstev deponovaných plazmochemickou metodou PECVD pomocí optických diagnostických metod (UV/VIS odrazivost, UV/VIS elipsometrie a IR propustnost) a iontových metod RBS a ERDA. V rámci této práce je rozšířen stávající model dielektrické odezvy DLC materiálů, především co se týče absorpce vibračních stavů uhlovodíkových skupin. Optická data čtyř vybraných …více

Abstract

DLC thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition were studied by optical methods (UV/VIS ellipsometry, UV/VIS reflectance and IR transmittance) and ion beam methods (Rutherford backscattering spectroscopy and elastic recoil detection analysis). Current model of dielectric response of DLC material was further developed, with focus on the absorption of hydrocarbon groups vibration …více

Klíčová slova
DLC PECVD optická diagnostika koncentrace vodíku optical diagnostics hydrogen concentration
Zadání práce
Úkolem práce je studovat optickými metodami (elipsometrie a spektrofotometrie) tenké vrstvy a povrchy perspektivních nových materiálů. Za tímto účelem budou použity již existující disperzní a strukturní modely, které obsahuje program pro fitování experimentálních dat (newAD). Cílem práce je ale také dále přispět k vývoji tohoto programu a k vývoji nových disperzních modelů, především modelů vhodných pro infračervenou oblast.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
17. 5. 2013 19:13, prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
Plný text práce
1,6 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
18. 6. 2013
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000
OTVPPL ÚFTP Fyz PřF MU

Literatura

  • FRANTA, Daniel; David NEČAS; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ a Christoph COBET. Band structure of diamond-like carbon films assessed from optical measurements in wide spectral range. Diamond and Related Materials. Amsterdam: Elsevier, 2010, roč. 19, 2-3, s. 114-122. ISSN 0925-9635.
  • FRANTA, Daniel; David NEČAS; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ a Christoph COBET. Combination of Synchrotron Ellipsometry and Table-Top Optical Measurements for Determination of Band Structure of DLC Films. Thin Solid Films. Elsevier, 2011, roč. 519, č. 9, s. 2694-2697. ISSN 0040-6090. Dostupné z: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.059.
  • YU, Peter Y. a Manuel CARDONA. Fundamentals of semiconductors : physics and materials properties. 4th ed. Heidelberg: Springer, 2010, xx, 775. ISBN 9783642007095.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.