Bakalářská práce

Studium termální stability diamantu podobných tenkých vrstev připravených plazmochemickou depozicí

Jaroslav Zůda
Anotace

Tato bakalářská práce se zabývá studiem diamantu podobných tenkých vrstev připravených plazmochemickou depozicí z plynné fáze. Tento typ tenkých vrstev se vyznačuje některými vlastnostmi, které ho předurčují k použití v průmyslu. Mechanické vlastnosti byly měřeny metodou instrumentované indentace a optickou metodou. Optické vlastnosti byly měřeny elipsometrem. Některé vrstvy byly zahřívány kvůli zjištění …více

Abstract

This thesis concerns on study of the diamond-like carbon thin films prepared by plasma enhanced chemical vapour deposition. This type of thin films has some special characteristics so it is commonly used in industry. Mechanical properties of these films were measured by means of depth sensing indentation methode and optical method. The optic properties were measured by ellipsometer. Some films were …více

Klíčová slova
DLC PECVD DSI tvrdost elipsometrie TDS AFM
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
11. 10. 2008 12:51, (IS automaticky)
Plný text práce
851,2 KB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
29. 6. 2006
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Jaroslav Zůda PřF B-FY FYZ b0jok/4
Zůda, J.
29. 5. 2006
Složky
Soubory
Anotace anglicky annotation_english.txt
Zůda, J.
29. 5. 2006
Anotace česky annotation.txt
Zůda, J.
29. 5. 2006
bakalarka.pdf
Zůda, J.
29. 5. 2006
Klíčová slova keywords.txt
Zůda, J.
29. 5. 2006

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.