Bakalářská práce

Depozice a charakterizace tenkých organosilikonových pa SiOx vrstev

Deposition and characterization of thin organosilicon and SiOx films

Monika Fialová, učo 211961
Anotace

Tato práce se zabývá charakterizací tenkých orgranosilikonových a SiOx vrstev nanášených metodou plazmochemické depozice z plynné fáze. Vrstvy vznikaly ze směsi hexamethyldisiloxanu a kyslíku. SiOx vrstvy byly deponovány v pulzním i kontinuálním režimu vysokofrekvenčního kapacitně i indukčně vázaného doutnavého výboje při různých hodnotách tlaku. Organosilikonové vrstvy byly nanášeny ve vysokofrekvenčním …více

Abstract

This thesis deals with the characterization of thin organosilicon and SiOx films, which were prepared by the plasma enhanced chemical vapour deposition from a mixture of hexamethyldisiloxane and oxygen. SiOx films were deposited in radio frequency capacitively and inductively coupled plasma discharges in continuous and pulsed modes at different pressures. Organosilicon films were deposited in radio …více

Klíčová slova
PECVD HMDSO SiOx vrstvy organosilikonové plazmové polymery elipsometrie SiOx thin films organosilicon plasma polymers ellipsometry
Zadání práce
Tématem práce je studium přípravy organosilikonových plazmových polymerů, které v současnosti nacházejí široké použití např. v automobilovém průmyslu nebo obalové technice. Ve všech těchto případech mohou být využity vakuové technologie, které zahrnují modifikaci povrchu podkladového materiálu v plazmatu a plazmochemickou depozici organosilikonových vrstev z plynné fáze (PECVD). Cílem práce je využít pro oba tyto kroky vysokofrekvenční doutnavý výboj. Upravené povrchy a připravené vrstvy budou charakterizovány vhodnými metodami.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
2. 6. 2009 09:27, prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
Plný text práce
6,8 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
29. 6. 2009
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Zuzana Studýnková, Ph.D.
abs PřF MU

Literatura

  • ZAJÍČKOVÁ, Lenka; Vilma BURŠÍKOVÁ; Vratislav PEŘINA; Anna MACKOVÁ; Deepak Prasad SUBEDI; Jan JANČA a Sergej SMIRNOV. Plasma modification of polycarbonates. Surface & coatings technology. Elsevier Science, 2001, roč. 2001, 142-144, s. 449-454. ISSN 0257-8972.
  • ZAJÍČKOVÁ, Lenka; Deepak Prasad SUBEDI; Vilma BURŠÍKOVÁ a Kateřina VELTRUSKÁ. Study of Argon Plasma Treatment of Polycarbonate Substrate. Acta physica slovaca. Bratislava: Institute of Physics, SAS, 2003, roč. 53, č. 6, s. 489-504. ISSN 0323-0465.
  • ZAJÍČKOVÁ, Lenka; Vilma BURŠÍKOVÁ; Zuzana KUČEROVÁ; Daniel FRANTA; Pavel DVOŘÁK; Radek ŠMÍD; Vratislav PEŘINA a Anna MACKOVÁ. Deposition of protective coatings in rf organosilicon discharges. Plasma Sources Science and Technology. Bristol: Institute of Physics Publishing, 2007, roč. 16, č. 1, s. S123-S132, 10 s. ISSN 0963-0252.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.