Disertační práce

Preparation of nanostructured carbon films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Mgr. Adrian Stoica
Anotace

Téma předkládané disertační práce je zaměřeno na přípravu a charakterizaci nanostrukturovaných modifikovaných diamantu podobných uhlíkových tenkých vrstev, připravených za nízkého tlaku metodou plazmatem urychlené chemické depozice z plynné fáze. Nejprve byl studován vliv dopování deuteriem na optické a mechanické vlastnosti hydrogenovaných uhlíkových vrstev. Optická emisní spektroskopie byla použita …více

Abstract

The topic of the present dissertation thesis is focused on the preparation and characterization of nanostructured modified diamond-like carbon thin films, prepared by low pressure radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. First, the effect of deuterium addition on the mechanical and optical properties of hydrogenated amorphous carbon films was studied. A basic optical emission spectroscopy …více

Klíčová slova
Depozice tenkých vrstev PECVD nanostrukturovaný modifikovaný DLC. Thin film deposition nanostructured modified DLC.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
29. 1. 2013 07:36, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
Plný text práce
6,3 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
14. 2. 2013
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

assoc. prof. Rodica Vladoiu
Ovidius University, Constanta, Romania
Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
Ústav přístrojové techniky, AV ČR
Autor posudku dosud neidentifikován.
Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika (čtyřleté)
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.