Bakalářská práce

Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem

Study and modification of surfaces by scanning electron microscopy

Adam Weiser
Anotace

V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprášením křemíku pomocí fokusovaného iontového svazku v závislosti na proudu a délce expozice a nalezení optimálního nastavení pro získání kvalitního obrazu v elektronovém i iontovém režimu.

Abstract

In this thesis I use a scanning electron microscope for surfaces of semiconductors and their structuring using a focused ion beam. The experimental part of this work is done on microscope Quanta 3D 200i by FEI. The aim is to analyze profiles and shapes of lines prepared by focused ion beam depending on current and dwell time and obtaining optimal settings for imagining a quality image with electron and ion mode.

Klíčová slova
SEM elektronová mikroskopie FIB iontový svazek studium povrchů úprava povrchů electron microscopy focused ion beam study of surfaces modification of surfaces
Zadání práce
Elektronová mikroskopie je zobrazovací metodou pro zviditelnění struktury povrchu s mikrometrovým až nanometrovým rozlišením. Tato technika využívá vysoce sofistikovaná zařízení, která se postupně stávají běžnou součástí hi-tech laboratoří. Pokud mikroskop obsahuje i kolonu s iontovým svazkem, pak je možné též provádět povrchové úpravy, např. vyřezávání tenkých lamel nebo přesnou depozici malého množství materiálu. Úkolem bakalářské práce bude studium povrchu polovodičů a dalších materiálů skenovacím (rastrovacím) elektronovým mikroskopem a úprava (strukturování) povrchů fokusovaným iontovým svazkem (FIB). Práce bude provedena na mikroskopu FEI Quanta3D.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
20. 5. 2015 17:12, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
Plný text práce
3,8 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
23. 6. 2015
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
FVN CNMT CEITEC MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.