Bakalářská práce

Studium a úprava povrchů elektronovým mikroskopem

Study and modification of surfaces by electron microscopy

Pavel Kohl
Anotace

Tato bakalářská práce se věnuje studiu a úpravě povrchů pomocí elektronového mikroskopu. Skenovací elektronový mikroskop Quanta 3D 200i od firmy FEI umožňuje studovat objekty až s nanometrovým rozlišením a za pomoci iontového svazku obrábět povrch. Experimentální část se zabývá například využitím elektronového mikroskopu při rozlišení padělaných mincí a studiem minerálů ve vysokém i nízkém vakuu.

Abstract

This bachelor thesis deals with the study and finishing of the surfaces by using the electron microscope. Scanning electron microscope Quanta 3D FEI 200i of company FEI helps to study the objects with nanometer resolution and to shape surfaces with an ion beam. The experimental part of this work deals with utilization of electron microscope for discernment of false coins and for study of minerals in hight and low vacuum.

Zadání práce
Elektronová mikroskopie je zobrazovací metodou pro zviditelnění struktury povrchu s mikrometrovým až nanometrovým rozlišením. Tato technika využívá vysoce sofistikovaná zařízení, která se postupně stávají běžnou součástí hi-tech laboratoří. Pokud mikroskop obsahuje i kolonu s iontovým svazkem, pak je možné též provádět povrchové úpravy. Úkolem bakalářské práce bude studium povrchu polovodičů a dalších materiálů elektronovým mikroskopem typu SEM a úprava povrchů metodou FIB. Práce bude provedena ve spolupráci s firmou FEI na mikroskopu FEI Quanta.
Práce zkontrolována:
24. 5. 2012 17:56, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
Plný text práce
31,9 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
29. 6. 2012
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.