Bakalářská práce

Vytváření strukturovaných tenkých vrstev plazmovými tryskami

Creation of thin structured layers by plasma jets

Simona Ivanová, učo 269561
Anotace

Tato práce je zaměřena na vytváření tenkých strukturovaných vrstev za použití technologie plazmové tužky a zkoumá vliv depozičních parametrů na jejich utváření. Pro tento účel byl aplikován prekurzor dusičnanu zirkonylu. V teoretické části této práce je popsán princip generování plazmatu pomocí plazmové tužky a je přiblížena problematika deponování tenkých strukturovaných vrstev. V experimentální části …více

Abstract

This work is focused on creating thin structured layers using plasma technology pencils and examines the influence of deposition parameters on their formation. For this purpose it was applied precursor of zirconyl nytrate. In the theoretical part of this work describes the principle of generating plasma using the plasma pencil and an idea of depositing thin structured layers. In the experimental section …více

Zadání práce
Prostudujte možnosti vytváření strukturovaných tenkých vrstev plazmovými tryskami (plazmovou tužkou)z různých druhů prekurzorů. U vybraných vzorků proveďte diagnostiku jejich struktury a chemického složení.
Práce zkontrolována:
1. 6. 2010 11:56, Mgr. Miloš Klíma, Ph.D.
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
15. 6. 2010
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Miloš Klíma, Ph.D.
Chem PřF MU

Literatura

  • KLÍMA, Miloš; Milan ALBERTI; Tomáš SVOBODA; Vilma BURŠÍKOVÁ; Pavel SLAVÍČEK; Daniel FRANTA; Michal MAZÍK a Pavel HÁN. Způsob realizace polyreakcí, plazmo-chemických polyreakcí, jejich modifikace a modifikace makromolekulárních látek plazmovou tryskou s dielektrickou kapilárou obepnutou dutou katodou. 2007. Patent. Číslo: EP 07466017. Vydavatel: European Patent Office. Místo vydání: HV Rijswijk, Netherlands. Název vlastníka: Masarykova univerzita. Datum registrace: 28. 6. 2007. Datum přijetí: 28. 6. 2007.

Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Chemie
  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.