Uhlovodíková kontaminace na povrchu vzorku má vliv na kvalitu obrazu získaného pomocí řádkovací elektronové mikroskopie (SEM). V praxi se používaná metoda plazmové dekontaminace povrchu často vede nejen ke snížení této kontaminace, ale také k nechtěné změně morfologie povrchu zejména pak v případě vodivých vzorků. Fotokatalytický proces čištění povrchů je v současné době běžně využívaný pro odstraňování organické kontaminace z povrchů fasád, čištění vzdušnin. Předmětem této práce je studium dekontaminace povrchu vzorků určených pro SEM metodou fotokatalytického procesu, která se jeví jako šetrnější a zároveň dostatečně účinná pro tyto účely. Míra uhlovodíkového znečištění vzorku a procesu čištění povrchu pomocí fotokatalytického povrchu provádějte pomocí testu černání obrazu v SEM případně metodou MALDI nebo SIMS.