Diplomová práce

Analýza a kompenzace chyb polohování stolku v elektronové mikroskopii

Analysis and compensation of stage positioning errors in electron microscopy

Lucie Koláriková
Anotace

V mikroskopii jsou ke zvětšování využívány různé technologie. Typem mikroskopů, které poskytují největší rozlišení, jsou elektronové mikroskopy, a kvůli jejich obrovskému zvětšení je o to důležitější důraz na přesnost. Tato práce se zaměřuje na chyby vznikající při polohování stolku, sbírá z mikroskopu data o odchylkách, zabývá se jejich analýzou a předzpracováním a používá metody strojového učení …více

Abstract

In microscopy, different technologies are used for object magnification. The type of microscopes that provide the best resolution are electron microscopes. Because of their huge magnification, accuracy is very important. This work focuses on errors that occur during stage positioning, collects the deviations, analyzes and preprocesses them and uses machine learning methods to predict them. Different …více

Klíčová slova
electron microscopy data science data mining machine learning positioning correction neural networks regression prediction deviation wafer
Zadání práce
Při pohybu manipulačního stolku se vzorky v elektronovém mikroskopu se projevují mechanické vůle a nepřesnosti, které mohou způsobit chyby při jeho polohování. Vliv na přesnost stolku má jeho design a konstrukce, hmotnost vzorku, vůle a opotřebení materiálu, apod. Výhodou elektronové mikroskopie je však kvalitní obrazový materiál, který může být použit pro zjištění chyby - lze použít speciální kalibrační vzorek, podle nějž získáme informaci o chybách polohování. Náplní práce bude nastudování problematiky (práce s mikroskopem, rešerše možných chyb stolku a kompenzačních metod), následně nasbírání trénovacích dat přímo z mikroskopu, analýza reálných chyb pomocí zpracování obrazu z mikroskopu, modelování chyb stolku na bázi těchto měření a doporučení postupů pro kompenzaci systematických chyb stolku. Práce bude řešena ve spolupráci s firmou Thermo Fisher Scientific.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
20. 7. 2020 16:09, prof. RNDr. Michal Kozubek, Ph.D., učo 3740
Plný text práce
7 MB / soubor PDF
Přílohy (2)
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
15. 9. 2020
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. Michal Kozubek, Ph.D., učo 3740
CABO KVI FI MU

Oponent

doc. RNDr. David Svoboda, Ph.D., učo 2824
CABO KVI FI MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Fakulta informatiky
Studijní program
Aplikovaná informatika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.