FC250 Nano- a mikrotechnologie

Přírodovědecká fakulta
jaro 2012
Rozsah
2/1. 3 kr. (plus ukončení). Ukončení: k.
Vyučující
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc. (přednášející)
prof. RNDr. Jan Janča, DrSc. (přednášející)
doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D. (přednášející)
Garance
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc.
Ústav fyzikální elektroniky - Fyzikální sekce - Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyzikální elektroniky - Fyzikální sekce - Přírodovědecká fakulta
Předpoklady
Úspěšné absolvování předmětů: Fyzika plazmatu, Fyzika plazmatu 1, Fyzika plazmatu 2
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Cíle předmětu
Elektronové zdroje a svazky.
Iontové zdroje asvazky.
Zdroje ionizačního záření.
Technologie na bázi stejnosměrných doutnavých výbojů.
Technologie na bázi stejnosměrných obloukových výbojů.
Technologie na bázi induktivně a kapacitně buzených RF výbojů.
Technologie na bázi mikrovlnných výbojů.
Osnova
  • Elektronové zdroje a svazky.
  • Iontové zdroje asvazky.
  • Zdroje ionizačního záření.
  • Technologie na bázi stejnosměrných doutnavých výbojů.
  • Technologie na bázi stejnosměrných obloukových výbojů.
  • Technologie na bázi induktivně a kapacitně buzených RF výbojů.
  • Technologie na bázi mikrovlnných výbojů.
Literatura
  • ROTH, Reece J. Industrial plasma engineering. Volume 2, Applications to nonthermal plasma processing. Bristol: Institute of Physics Publishing, 2001. xi, 645 s. ISBN 0-7503-0544-4. info
  • ROTH, Reece J. Industrial plasma engineering. Volume 1, Principles. Bristol: Institute of Physics Publishing, 1995. xiii, 538. ISBN 0-7503-0317-4. info
Metody hodnocení
Kolokvium - společná diskuse o jednotlivých tématech
Informace učitele
Starší název předmětu: Současné plazmochemické technologie
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován každoročně.
Výuka probíhá každý týden.
Předmět je zařazen také v obdobích jaro 2008 - akreditace, jaro 2011 - akreditace, jaro 2007, jaro 2008, jaro 2009, jaro 2010, jaro 2011, jaro 2012 - akreditace, jaro 2013, jaro 2015, jaro 2017, jaro 2019.