FC250 Nano- a mikrotechnologie

Přírodovědecká fakulta
jaro 2013
Rozsah
2/1. 3 kr. (plus ukončení). Ukončení: k.
Vyučující
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc. (přednášející)
doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D. (přednášející)
Anton Manakhov, Ph.D. (cvičící)
Garance
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc.
Ústav fyzikální elektroniky - Fyzikální sekce - Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyzikální elektroniky - Fyzikální sekce - Přírodovědecká fakulta
Rozvrh
Čt 8:00–9:50 Fs1,01017, Čt 10:00–10:50 Fs1,01017
Předpoklady
Výhodou je absolvování předmětu F4280 Technologie depozice a povrchových úprav a znalost základů fyziky plazmatu (předměty F5170 Úvod do fyziky plazmatu, F7241 Fyzika plazmatu 1, Fyzika plazmatu 2).
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Cíle předmětu
Na konci tohoto kurzu bude student schopen vysvětlit jaké procesy a metody jsou používané v mikro- a nanotechnologiích. Bude schopen porozumět základům fyziky plazmatu a plazmových zdrojů. Dále bude schopen rozhodnout jaké metody a postupy zvolit pro vytvoření určitých mikro- a nanostruktur pomocí kombinace technologií leptání, depozice tenkých vrstev a samoorganizovaných procesů syntézy nanomateriálů.
Osnova
  • Přehled procesů a metod používaných v mikro- a nanotechnologiích
  • Úvod do základů fyziky plazmatu a plazmových zdrojů
  • Technologie leptání v mikroelektronice
  • Technologie depozice tenkých vrstev
  • Příprava nanostrukturovaných materiálů pomocí samoorganizace
Literatura
  • ROTH, Reece J. Industrial plasma engineering. Volume 2, Applications to nonthermal plasma processing. Bristol: Institute of Physics Publishing, 2001. xi, 645 s. ISBN 0-7503-0544-4. info
  • ROTH, Reece J. Industrial plasma engineering. Volume 1, Principles. Bristol: Institute of Physics Publishing, 1995. xiii, 538. ISBN 0-7503-0317-4. info
Metody hodnocení
Kolokvium - společná diskuse o jednotlivých tématech
Informace učitele
Starší název předmětu: Současné plazmochemické technologie
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován každoročně.
Předmět je zařazen také v obdobích jaro 2008 - akreditace, jaro 2011 - akreditace, jaro 2007, jaro 2008, jaro 2009, jaro 2010, jaro 2011, jaro 2012, jaro 2012 - akreditace, jaro 2015, jaro 2017, jaro 2019.