J 1998

Analysis of thin films with slightly rough boundaries

OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA, Jaroslav HORA, Karel NAVRÁTIL, Jan WEBER et. al.

Základní údaje

Originální název

Analysis of thin films with slightly rough boundaries

Autoři

OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), Daniel FRANTA (203 Česká republika), Jaroslav HORA (203 Česká republika), Karel NAVRÁTIL (203 Česká republika), Jan WEBER a Pavel JANDA

Vydání

Mikrochim. Acta, Wien, Springer-Verlag, 1998, 0026-3672

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 0.716

Kód RIV

RIV/00216224:14310/98:00003184

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000075322100025

Klíčová slova anglicky

Spectroscopic Ellipsometry; Spectroscopic Reflectometry; Atomic Force Microscopy

Štítky

Změněno: 19. 12. 2003 19:25, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

V originále

In this paper presented method is based on a combination of variable angle spectroscopic ellipsometry, spectroscopic reflectometry and atomic force microscopy enabling us to determine the optical parameters and most significant statistical parameters of the rough boundaries characterizing the slightly rough single layers.

Návaznosti

GA202/98/0988, projekt VaV
Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod